自然冷媒で－70℃/9kWの冷却能力を持つ半導体エッチング用チラー - MONOist

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» 2024年02月05日 13時00分 公開

前川製作所は、伸和コントロールズと共同開発した、自然冷媒で−70℃/9kWの冷却能力を持つ半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon」を発表した。半導体のエッチング工程に最適な超低温環境を提供する。

　前川製作所は2024年1月16日、伸和コントロールズと共同開発した、自然冷媒で−70℃/9kWの冷却能力を持つ半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon（オベロン）」を発表した。フィールドテスト実施後、2025年以降の販売を目指す。

半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon」 出所：前川製作所

　同製品は、前川製作所の自然冷媒冷却技術（ターボブレイトン冷凍機）を応用し、半導体のエッチング工程に最適な−70℃の超低温環境を提供する。半導体のエッチング工程は−40℃より−70℃の環境下の方が処理時間を短縮できるため、生産ラインの効率を向上する。また、機体がコンパクトなことから、既存のライン構成を変更することなく機器の入れ替えができる。

　同社の冷却技術に伸和コントロールズの制御技術を組み合わせたことで、従来の蒸気圧縮式冷凍機と比べて30％の省エネルギー化に成功。ランニングコストとCO₂排出量を削減できる。今後、使用が制限されるフロン系冷媒も使用しないため、2050年のカーボンニュートラルに向けた取り組みにも貢献する。

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